在半导体制造与医药洁净车间,德耐尔干式螺杆真空泵正改写无油抽真空的技术标准。今天我们将解析其两大核心技术——变螺距与等螺距设计的本质差异。
一、原理差异:气流运动的"变速跑"与"匀速跑"
变螺距系列采用渐变形螺杆设计,螺槽深度从进气端到排气端逐渐变浅,形成"前松后紧"的压缩结构。这种非对称设计使气体在泵腔内呈加速度运动(业内称"渐进压缩"),在抽速相同的情况下,能耗比等螺距更低
等螺距系列则保持螺杆齿形均匀分布,如同匀速运转的传送带,气体以恒定速度通过泵腔。其优势在于气流脉动更平稳(振动值比变螺距低3dB左右),特别适合半导体镀膜等对气流稳定性要求严苛的工艺。
二、性能对比:不同工况下的"专精特化"
抗过载能力:等螺距系列因结构对称性,在突然吸入液体或颗粒物时,转子受力更均匀,故障率降低40%(德耐尔实验室实测数据)
所抽介质:等螺距由于内部无内压缩,泵温高,适宜抽除易凝结,易结晶的气体,转子间隙大,固体粉尘与冷凝液不易在转子间和泵腔沉积;变螺距:排气温度低,工作温升小,适宜抽除易燃易爆,易结焦的气体,排气反冲的气体量少,从根本上降低了泵的运行温度和噪音
三、选型指南:根据行业痛点匹配技术方案
医药冻干:优先选变螺距机型,其"快速抽除大量水蒸气→深度脱水"的两段式能力,可使冻干周期缩短20%
化工蒸馏:等螺距系列更适合处理含可凝性气体的工况,其匀速特性减少"气锤效应"对塔釜液位的冲击
光伏单晶炉:推荐使用带特殊涂层的变螺距机型,其高压比特性更能适应频繁启停的工艺特点
当您的工艺需要快速抽真空时,选择变螺距系列;若追求长期稳定运行,等螺距系列更优。
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作者:德耐尔@德耐尔空压机 空压机修订日期:2025-07-30
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