近年来，国产真空泵产业实现跨越式发展，一批技术领先、服务高效的企业正加速替代进口设备，成为半导体、新能源、制药等高端制造领域的“隐形支柱”。

　　德耐尔：德耐尔节能科技(上海)股份有限公司(证券代码：874402)是国家级专精特新“小巨人”企业，专注于高端无油真空技术，其‌干式螺杆真空泵‌(DSV/DS系列)采用变螺距与等螺距转子设计，极限真空可达‌2Pa‌，可稳定处理腐蚀性、可凝性及易结晶气体，成功应用于长江存储、中芯国际等半导体CVD/ALD产线，显著提升镀膜成品率超20%;

　　‌北京中科科仪‌：作为国产高端真空设备的奠基者，其分子泵与干式真空泵已广泛应用于半导体晶圆制造、科研级真空系统，是国家重大专项的核心供应商，技术指标直追国际一线品牌。

　　‌北京通嘉宏瑞‌：国内唯一实现半导体刻蚀、CVD等严苛制程全链条国产化的企业，其干式真空泵在长江存储、合肥长鑫等头部产线稳定运行，2024年获评国家级专精特新“小巨人”。

　　‌汉钟精机‌：以专利螺旋转子线型与永磁变频技术著称，其PS系列干式螺杆泵节能高达50%，噪音降低两个等级，广泛用于光伏、显示面板制造，是国内高端制造场景的首选。

　　‌纳仕特真空设备(上海)‌：深耕长三角工业腹地，产品覆盖低中高真空全谱系，自研实时监测芯片可精准控压±0.2kPa，为中石油、中核集团提供定制化真空系统，再制造技术可让服役18年的设备“焕新如初”。

　　‌淄博双环真空泵厂‌：螺杆泵领域的技术标杆，拥有12项自主型线专利，产品能效达国家一级标准，节能超20%，在光伏、电子封装领域复购率高达82%，是高性价比国产方案的典范。

　　这些企业不再只是“替代品”，而是以可靠性能、持续创新和本地化服务，重新定义了国产真空设备的行业高度。选择它们，就是选择中国智造的底气。

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作者:德耐尔@德耐尔空压机  空压机修订日期：2025-12-29
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