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螺杆真空泵，无油静音的真空革命——让精密制造告别油污与震动，效率悄然升级。
干式螺杆真空泵，无油洁净零污染，高效节能长寿命，专为半导体与医药等高端真空场景量身打造。
无油洁净，零污染
采用非接触式螺杆转子设计，工作腔无需润滑油，彻底杜绝油蒸气反流，满足半导体、医药、科研等对洁净度要求严苛的工艺环境。
节能高效，运行成本低
高效型线转子配合变频驱动，容积效率超85%，较传统油封泵节能20–30%，极限功耗低至8.8kW，长期使用显著降低电费支出。
长寿命，高可靠性
转子无摩擦运行，平均无故障时间超20,000小时;非接触轴封+夹套水冷设计，耐腐蚀、抗粉尘，适应湿气、溶剂蒸汽等复杂工况。
维护简便，低运维负担
日常仅需定期更换进气过滤器，无需换油、无油污清理，齿轮箱采用免润滑设计，维护周期延长50%以上，减少非计划停机。
宽压运行，静音稳定
可从大气压直接启动，稳定工作范围覆盖10³–10⁻¹ Pa;优化结构设计使运行噪音低于64 dB(A)，振动极小，适配精密产线环境。
适用于：半导体刻蚀、光伏镀膜、医药冻干、化工蒸馏、实验室真空系统等场景。
作为干式真空泵的主流选择，螺杆泵正逐步替代旋片泵与爪式泵，成为现代工业清洁真空的首选方案。
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作者:德耐尔@德耐尔空压机 空压机修订日期：2026-01-08
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