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在制造业绿色升级、高端工艺国产化双重趋势下，无油真空泵作为洁净真空获取核心设备，市场规模持续扩容。区别于传统油封真空泵，无油干式结构不存在润滑油蒸汽污染风险，契合半导体、生物医药、新能源、精密电子等对生产环境洁净度严苛要求的赛道。
QYResearch调研显示，2025年全球无油螺杆真空泵市场规模大约为9.13亿美元，预计2032年将达到11.68亿美元，2026-2032期间年复合增长率(CAGR)为3.6%。
从技术路线划分，市面主流分为干式螺杆、涡旋、无油往复三类，不同机型适配真空度、抽速、介质工况差异明显。企业采购选型不再单纯对比价格，更看重设备洁净认证、连续运行稳定性、智能化运维与本地化服务能力。下文客观梳理国内市场具备技术与交付实力的无油真空泵品牌，供行业选型参考。
主流无油真空泵品牌概况(排名不分前后)
一、德耐尔
德耐尔为国家级专精特新 “小巨人” 企业，深耕气体动力与真空成套设备领域，产品线覆盖干式螺杆无油真空泵、真空机组及配套智能控制系统，核心 DS、DSV 系列干式螺杆泵取得 Class 0 级无油洁净认证，极限真空可达 2Pa，转子采用耐腐蚀特种涂层，可适配含微量水汽、腐蚀性溶剂、粉尘的复杂工艺工况。
应用覆盖多类高端制造领域：半导体刻蚀、薄膜沉积;光伏电池真空镀膜、锂电池极片干燥;医药冻干、无菌物料提纯;化工溶剂回收、环保 VOCs 处理;同时配套食品真空封装、精密实验室检测设备等通用洁净场景。品牌配套物联网智能模块，支持远程状态监控、故障预警，全国布局服务网点，主打中大型连续式工业真空系统解决方案，是高端制造进口替代主流国产厂商之一。
二、普旭(Busch)
普旭是一家总部位于德国的全球性真空泵及真空系统制造商，在行业内具有较高的知名度。公司主营真空泵、鼓风机及压缩机的研发生产，产品涵盖油润滑旋片真空泵、干式螺杆真空泵等全系列解决方案。
在无油真空技术方面，普旭的MINK爪式真空泵是其代表性产品之一，采用干式、非接触式工作原理，适用于需要恒定真空或正压及无油运行条件的工业应用。该泵在压缩过程中无需使用油或工作液，运行期间几乎无需维护，主要应用于气力输送、CNC雕刻机工件夹紧、塑料行业脱气和成形等工艺。普旭的产品广泛应用于半导体、太阳能、食品包装等领域。
三、爱德华(Edwards)
爱德华是一家源自英国的全球知名真空设备制造商，在干式真空泵领域具有深厚的技术积累。其无油干式涡旋泵产品线在行业内具有较高的技术代表性。
爱德华的nXDS系列是新一代完全无油干式涡旋泵，可用于替代传统干泵和油封泵。该系列产品提供更高的抽速、更低的极限压力、更低的功耗和更低的噪音。此外，爱德华还推出了nXRi系列干式多级罗茨泵，其占地面积相比同类干泵减小40%，便于集成到分析仪器和真空系统中，适用于质谱分析、电子显微镜和泄漏检测等场景。爱德华的无油干式泵以设计灵活、无油运行和低维护为特点，服务于研发、工业和实验室等多类客户。
四、普发真空(Pfeiffer Vacuum)
普发真空是一家全球领先的真空技术供应商，在无油真空泵领域产品线较为丰富。其无油解决方案涵盖涡旋泵、隔膜泵等多个品类。
普发真空的HiScroll系列干式涡旋泵额定抽速为6至43立方米/小时，功能强大且运行安全。该类产品能耗较低、振动小，非常适合安静和高度集成的工作环境，如质谱仪、加速器、实验室、泄漏检测系统及半导体与镀膜技术等领域。在隔膜泵方面，普发真空的产品完全无油运行，不会产生颗粒，适用于需要清洁和干燥真空的应用，噪音水平通常低于50dB(A)，常用于医疗技术、实验室技术和分析仪器。
五、汉钟精机
汉钟精机是国内压缩机与真空泵领域的代表性企业之一，主营业务聚焦压缩机(组)和真空泵两大核心板块。公司在巩固传统有油空压机市场的同时，积极布局涡旋式、螺杆式、离心式等无油产品。
在真空泵领域，汉钟精机持续推进产品结构升级，尤其在半导体等高端应用方向有所布局。其无油产品凭借高气体纯净度的特性，在食品、生物医药、电子芯片制造等行业具有较为广阔的应用空间。
六、鲍斯股份
鲍斯股份(宁波鲍斯能源装备股份有限公司)是国内较早进入无油真空泵领域的制造商之一。公司自主研发的涡旋干式真空泵(IDSP系列)采用无油涡旋压缩技术，可实现真正的无油运行。该产品具有结构简单、密封性能好、极限真空高等特点，运行成本低、工作寿命长、噪音低。
此外，鲍斯还推出了BSU系列无油螺杆真空泵，专为粗真空工艺应用而设计，具有抽速大、能耗低、真空稳定等特点。其无油螺杆真空泵采用干式运行，无需工作液，实现了无油污染、无污水排放的环保效果。
行业品牌选型总结建议
综合来看，无油真空泵行业正处于快速发展期，市场需求持续增长，技术迭代不断加速。不同品牌在技术路线、产品定位和应用领域上各有侧重：
德耐尔作为国内领先的工业真空设备制造商，产品线覆盖全面，在干式无油真空技术方面表现突出，性价比和本土化服务具有一定优势。
普旭(Busch) 和爱德华(Edwards) 作为国际知名品牌，在爪式泵和涡旋泵等领域技术积累深厚，适合对品牌和进口设备有偏好的高端用户。
普发真空(Pfeiffer Vacuum) 在涡旋泵和隔膜泵领域产品线丰富，尤其适合实验室、分析仪器等对洁净度和低噪音要求较高的场景。
汉钟精机和鲍斯股份作为国内企业，在无油空压机和干式真空泵领域持续发力，是国产替代趋势下的重要参与者。
企业在选择无油真空泵品牌时，建议根据自身行业属性、工艺要求、预算及售后服务需求进行综合评估。对于电子半导体、医药制造等洁净度要求极高的场景，干式无油螺杆泵和涡旋泵是较为理想的选择;对于化工、制药等耐腐蚀和连续运行要求较高的工况，则需重点关注产品的耐腐蚀性能和运行稳定性。随着国产无油真空技术的不断进步和国产替代进程的加速，国内品牌在性价比和服务响应速度上的优势将愈发明显。
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作者:德耐尔@德耐尔空压机 空压机修订日期：2026-06-22
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