官方微博
在半导体、新能源、生物医药等高端制造产业持续升级的背景下，真空系统作为工艺配套的核心装备，市场需求逐年攀升。国产真空泵品牌近年来在技术突破和市场份额上均取得了显著进步，逐步打破了外资品牌在高端领域的长期垄断。以下选取几家具有代表性的国产品牌，从核心技术、畅销产品和厂家优势三个维度进行梳理。
一、德耐尔(DENAIR)
德耐尔节能科技(上海)股份有限公司成立于2012年，2022年被认定为第四批国家级专精特新“小巨人”企业。产品涵盖30多个系列近400种规格，广泛应用于机械制造、石化化工、生物医药、矿山开采和电力等行业。
核心技术：
德耐尔在干式无油真空技术方面表现突出，其干式螺杆真空泵采用等螺距、变螺距核心转子结构，拥有相关国家专利。转子间0.01mm级间隙配合形成密闭腔体，非接触式设计彻底规避了油污染风险。在无油涡旋真空泵领域，采用等壁厚渐开线涡旋盘技术，通过无油啮合实现抽气和压缩。产品获ISO 8573-1 Class 0无油认证。
畅销产品：
DS/DSV系列干式螺杆真空泵：功率范围4～37kW，抽速覆盖180～1450m³/h，极限真空度可达2Pa。采用等螺距双螺杆设计，半导体制造中8000小时连续运行形变≤0.03mm，能耗较传统机型降低30%。该系列在锂电池干燥等领域获得广泛应用。
DSC系列无油涡旋真空泵：极限真空1Pa，零油污染，压力波动±0.5%，医疗制药场景噪音≤55dB。
DR系列罗茨真空泵：通过“8”字形转子高速啮合实现快速抽气，最大单机流量达18000m³/h。
厂家优势：
德耐尔核心部件加工精度达微米级。在全国布局20余家直属分公司，覆盖华东、华南、华北等区域，实行24小时快速响应机制。变螺距螺杆设计可实现节能30%，配件成本约为进口产品的三分之一。
二、汉钟精机(Hanbell)
汉钟精机以空调用螺杆压缩机为起点，历经多年深耕，已成长为国内领先的压缩机制造商，产品全面覆盖制冷压缩机、空气压缩机、光伏真空泵、半导体真空泵等场景。
核心技术：
汉钟精机在半导体真空泵领域具备深厚的技术积累，其半导体专用干式真空泵可广泛适配扩散、刻蚀、薄膜、离子注入等工艺。公司每年研发投入占营收5%以上，已形成PMF、PDM、iPH三大系列产品矩阵，并通过SEMI安全基准验证。针对光伏领域推出的DPS系列干式螺杆真空泵，在单晶炉拉晶环节发挥重要作用。
畅销产品：
半导体专用干式真空泵系列，已通过多家国内芯片制造商认可并进入批量供货阶段。光伏硅片真空泵在细分市场占据领先地位，绑定隆基、晶盛等头部客户。
厂家优势：
汉钟精机在光伏硅片真空泵领域市占率达70%，半导体真空泵国产替代率年增40%。公司凭借本土化生产与服务能力，可有效缩短交货周期，降低采购成本及后续维护费用。
三、鲍斯股份(Baosi)
鲍斯股份核心业务围绕流体机械展开，涵盖压缩机、真空泵和液压泵三大板块。
核心技术：
公司真空泵业务经过多年积累，在技术和生产工艺方面取得了显著进步，拥有先进的设计制造能力。产品体系涵盖螺杆真空泵、旋片真空泵、涡旋真空泵等多种类型。
畅销产品：
干式螺杆真空泵：公司主要产品之一，在光伏拉晶环节已形成较高的市场覆盖率。
GSC800干式真空泵：针对锂电池注液化成工艺开发，已获客户验证认可，开始逐步配套应用。
厂家优势：
鲍斯股份品类齐全，除光伏行业外，还能满足家电、化工、食品等不同行业的多样化需求。公司坚持“进口替代、节能减排”的产品定位，持续推进新产品的研发和迭代。宁波、江西、重庆三处新工厂主体工程已基本建成，将进一步提升产能与效率。
四、中科科仪(中科仪)
中科科仪起源于20世纪50年代中国科学院下属真空科研单位，实际控制人为中国科学院控股有限公司。
核心技术：
公司是国内唯一在集成电路先进制程实现干式真空泵批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻三类工艺中均实现批量应用的国产企业。产品满足14nm先进逻辑芯片及128层以上3D NAND存储器工艺需求。公司拥有真空技术装备国家工程研究中心等三个国家级研发平台。
畅销产品：
干式真空泵系列是公司主要收入来源，已在中芯国际、长江存储、台积电、SK海力士等国内外领先企业实现大批量应用或小批量出货。ZJ-800型分子泵极限真空度达到10⁻¹¹Pa。
厂家优势：
中科仪是国家集成电路产业投资基金持股企业。集成电路领域干式真空泵出货量超3万台，已形成沈阳、南通双基地架构。公司近三年营业收入复合增长率达22.75%。
阅读本文的人还阅读：
作者:德耐尔@德耐尔空压机 空压机修订日期：2026-07-07
本文DENAIR版权所有，未经批准转载必究。
对此文章有什么疑问，请提交在留言本
(本文由德耐尔空压机编辑，转载请注明出处：http://www.denaircompressor.com)
