真空泵是一个设备，气体分子从一个密封的卷中删除以留下一个局部真空。第一台真空泵于1650年由奥托冯居里克发明 。

剖视图的一个涡轮分子高真空泵
 

真空泵类型
泵，大致可分为三种技术：

容积式泵使用一种机制，一再扩大腔，使气体流室，密封腔，它排气的气氛。
动量传输泵，也被称为分子泵 ，利用高速喷射密集的液体或高速旋转的刀片敲室中的气体分子。
圈套泵捕获气体中的固体或吸附状态。这包括低温泵 ， 干将 ， 离子泵 。

容积式泵是最有效的低真空。在与一个或两个正排量泵的动量传输泵是最常见的配置，用来实现高真空。在此配置中的正排量泵有两个目的。首先，它获得粗真空中的动量传输泵前可以用来获得高真空，动量传输泵无法启动抽水大气压力的船只被疏散。第二，正排量泵备份撤离到低真空流离失所分子在高真空泵的积累动量传输泵。圈套泵可达到超高真空，但他们需要定期再生的表面陷阱空气分子或离子。由于这项规定其现有的运行时间可不能接受的低和高真空，从而限制了其使用超高真空。泵制造公差等细节也不同，密封材料，压力，流量，入院时或入场无油蒸汽，维修间隔时间，可靠性，耐灰尘，耐化学品，耐液体和振动。
 

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作者:德耐尔@德耐尔空压机  空压机修订日期：2011-10-24
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