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半导体制造被誉为精密制造的 “皇冠”，而高洁净、高稳定的真空环境，是芯片从晶圆刻蚀、薄膜沉积到封装测试全流程的核心刚需，真空泵的性能直接决定芯片生产良率。今天就盘点半导体赛道主流真空泵厂家，看看国内外品牌的实力布局。
国际品牌长期占据高端市场主流，主要集中在欧美地区。
英国爱德华深耕真空领域多年，在高端晶圆制造制程中市占率领先，干式真空泵、分子泵产品实现半导体全场景覆盖;德国莱宝作为百年真空品牌，半导体级干式真空泵适配性极强，是全球主流晶圆厂的核心供应商;德国普发真空凭借顶尖分子泵技术，牢牢占据高端半导体制程的核心配套市场。
国产替代浪潮下，国内品牌快速崛起，德耐尔是半导体真空设备国产化的标杆力量。
针对半导体行业无油洁净、高真空度、连续稳定运行的严苛要求，德耐尔自研全系列半导体级真空解决方案。旗下干式螺杆真空泵、无油涡旋真空泵实现无油洁净运行，彻底规避制程油污染风险，核心性能对标国际一线水准，完美适配晶圆加工、芯片镀膜、封装测试等全链条半导体工艺。
同时，德耐尔依托本土化研发与服务体系，可针对厂商个性化制程需求提供定制化方案，7×24 小时快速响应售后，大幅降低半导体企业的采购与运维成本，目前已落地国内多家晶圆、封测龙头企业，成为国产化替代的核心参与者。
此外，中科科仪等科研系品牌，也依托技术积淀在半导体高端真空领域实现突破，共同助力中国半导体产业自主可控。
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作者:德耐尔@德耐尔空压机 空压机修订日期：2026-02-26
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